Источник магнетронного распыления с гибкой головкой для мишеней диаметром 25,4 мм

Источник магнетронного распыления совместим с источниками питания постоянного тока, импульсного постоянного тока и радиочастотными источниками питания. Высоковакуумная конструкция позволяет использовать аргон при низком давлении, уменьшая число столкновений газа в вакуумной камере и повышая качество покрытия. Круглые редкоземельные магниты отделены от охлаждающей воды защитным антикоррозионным покрытием; магнитный узел допускает замену магнитов. Низкоимпедансная распылительная головка оснащена стандартным радиочастотным разъёмом. Источник можно прогревать до 200 °C. В комплект входят медная опорная пластина и одна медная мишень. Максимальная толщина мишени составляет 3 мм, внешний диаметр вала — 19,05 мм. Максимальная мощность при постоянном токе составляет 250 Вт, при радиочастотном питании — 100 Вт; максимальный ток катода — 3 А, напряжение катода — 200–1000 В, рабочее давление — примерно от 1 мТорр до 1 Торр. Требуется водяное охлаждение с фильтрованным расходом 1,8927 л/мин и температурой воды на входе ниже 20 °C. Монтаж выполняется обычными инструментами, а мишень заменяется без приклеивания. Головка может наклоняться на ±45° для регулировки угла распыления.

Наименование производителя

1" Magnetron Sputtering Source with Flexible Head for DIY RF & DC Sputtering Coater - HVMSS-SPC-1-LD