Источник питания постоянного тока для магнетронного распыления

Источник питания постоянного тока для магнетронного распыления имеет выходную мощность 10 кВт. Входное питание представляет собой переменное напряжение 380 В с допуском ±10 % в трёхфазной четырёхпроводной системе. Предусмотрено раздельное задание постоянных значений напряжения, тока и мощности; точность регулирования не превышает 1 %. Коэффициент полезного действия составляет не менее 90 %, а коэффициент мощности — не менее 0,9. Применяется принудительное воздушное охлаждение. Рабочая температура находится в диапазоне от 0 до 35 градусов Цельсия, относительная влажность не превышает 85 %. Размеры корпуса составляют 480 × 135 × 380 мм. Управление выполняется кнопками на панели, аналоговым сигналом и цифровым интерфейсом. Жидкокристаллический дисплей с китайским и английским интерфейсом отображает рабочее состояние, выходное напряжение, выходной ток и заданное значение. Выход защищён от перенапряжения, сверхтока и дисбаланса, а вход — от перенапряжения, пониженного напряжения, сверхтока и потери фазы. Дополнительно предусмотрены защита заземления, утечки, внешнего управления, молнии и перегрева, а также интеллектуальное обнаружение неисправностей с сигнализацией ошибок. Сопротивление между входом и корпусом составляет не менее 20 МОм. Изоляция выдерживает 2000 В в течение 1 мин между входом и корпусом и 3500 В в течение 1 мин между входом и выходом. Время срабатывания защиты составляет 1 мкс.

Наименование производителя

10KW DC Magnetron Plasma Sputtering Power Supply Customized OEM Support for Coating Applications, 10KW 5KV 2A DC High Voltage Bombardment Power Supply for High-pressure Bombardment Cleaning and Silicon Oil protection Film Coat, 5KW DC Magnetron Sputtering Power Supply for High-Quality Thin Film Coatings