Ультразвуковая установка для центробежно-распылительного нанесения покрытий

Ультразвуковая установка объединяет ультразвуковую атомизацию, подачу жидкости, центробежное нанесение и сушку пленки на подложке диаметром до 300 мм. Жидкость подается прецизионным шприцевым насосом с возможностью нагрева; насос оснащен ЖК-сенсорным экраном управления, а в комплект входит шприц объемом 50 мл. Система допускает использование шприца диаметром 0,4–30 мм. Ультразвуковой распылитель перемещается над подложкой на поворотном рычаге, обеспечивая равномерность покрытия; можно установить до четырех распылительных головок для послойного нанесения. Предусмотрены цилиндрическое сопло с зоной распыления около 20 мм и коническое сопло с зоной около 40 мм. Для водного раствора рекомендуется сжатый инертный газ или воздух с давлением около 0,138 бар. Рабочая вязкость жидкости составляет 1–50 мПа·с, размер частиц суспензии — 10–20 мкм, содержание твердого вещества — не более 10 %. Сенсорная панель управляет мощностью ультразвука, скоростью распыления, скоростью вращения и температурой; время распыления регулируется в пределах 1–999 с. Вакуумный держатель фиксирует подложку, а безмасляный насос входит в комплект и управляется установкой. Внутри вытяжного шкафа установлен инфракрасный нагреватель с регулировкой до 80 °C для быстрой сушки пленки. Вентиляционный порт имеет диаметр 101,6 мм.

Наименование производителя

12" (300mm) Ultrasonic Spin-Spray Coater With Heater and Fume Hood Copper Decoration Coating Machine -VTC-300BUSS, MGSI Automated Ultrasonic Spin-Spray Coater (0-3000 Rpm, 12" Wafer Max) W/ Heater & Fume Hood - VTC-300BUSS