Установка для нанесения тонких плёнок 2 в 1

Вакуумная камера из нержавеющей стали содержит магнетронную распылительную головку диаметром 25,4 мм с быстросъёмным соединителем для высокого вакуума и тигель для термического испарения. Распыление выполняется снизу вверх; расстояние до площадки образца регулируется от 60 до 100 мм, а поворотная заслонка с ручным управлением предотвращает загрязнение. В тигле из оксида алюминия установлена вольфрамовая нагревательная спираль, у дна размещена термопара типа S, максимальный нагрев достигает 1350 °C, а программируемый сенсорный контроллер обеспечивает точное управление. Камера имеет диаметр 250 мм, высоту 360 мм и кварцевое смотровое окно диаметром 100 мм. Верхний фланец оснащён приводом для загрузки образца и вращающимся нагреваемым держателем размером 100 мм; его предельный нагрев составляет 700 °C при точности ±3 °C и программировании на 30 сегментов. Через фланец к турбонасосу подключён электрический затворный клапан; выведены электроды для данного процесса и предусмотрен фланец для дополнительного кварцевого монитора толщины плёнки с точностью 0,10 Å, а порты подачи и отвода газа снабжены клапанами. Предельное разрежение в холодном состоянии составляет 8,0 × 10^-6 Торр. Цифровой рециркуляционный охладитель воды регулирует диапазон 5–35 °C, поддерживает расход 16 л/мин и давление насоса 0,965266 бар. Цветная сенсорная панель диагональю 177,8 мм управляет температурой испарения, температурой держателя и скоростью его вращения, включает и отключает вакуумный насос и клапан, отображает уровень вакуума. Потребляемая мощность составляет 4200 Вт с учётом насоса и охладителя воды. Габариты установки — 840 × 750 × 1900 мм, масса нетто — 310 кг.

Наименование производителя

2 in 1 Thin Film Coater: Magnetrons Sputtering & Thermal Evaporation - VTC-1RF-SPC