Установка плазменного распыления с тремя вращающимися мишенями

Установка оснащена цифровым контроллером и цветным сенсорным экраном диагональю 152,4 мм с интеграцией ПЛК. Через интерфейс доступны вакуумметр, измеритель тока распыления, регулирование температуры подложки, выбор позиции распыления, таймер и журналирование процесса. Максимальная температура нагревателя подложки составляет 500 °C; встроенный ПИД-регулятор обеспечивает точность ±1 °C. Входное питание однофазное, 220 В переменного тока, 50/60 Гц, мощность составляет 700 Вт без вакуумного насоса. При использовании напряжения 110 В переменного тока требуется трансформатор мощностью 1500 Вт. Выходные параметры включают 1600 В постоянного тока и максимальный ток 40 мА. Вакуумная камера из кварца высокой чистоты имеет внутренний диаметр 150 мм, наружный диаметр 165 мм и высоту 150 мм. Уплотнительный фланец выполнен из нержавеющей стали и оснащён плоским уплотнительным кольцом. Поворотный столик имеет диаметр 50 мм, три позиции распыления и регулируемое расстояние 25–40 мм. В комплект входят мишени из золота, серебра и меди. Для мишеней предусмотрены диаметр 47 мм и максимальная толщина 2,5 мм. Передние регулировочные ручки предназначены для подачи газа и настройки тока распыления. Защитная клетка изготовлена из нержавеющей стали. Вакуумный порт служит для подключения насоса; возможны двухступенчатый насос с вакуумом до 1,0E-2 торр или турбонасос с вакуумом до 1,0E-5 торр. Масса установки составляет 50 кг, предусмотрено одобрение CE.

Наименование производителя

3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater Including 3 Targets - VTC-16-3HD-LD