Радиочастотный генератор плазмы

Name: Радиочастотный генератор плазмы
SKU: 509-679

Радиочастотный генератор плазмы объединяет источник радиочастотного питания и автоматический согласователь в одном устройстве. Специальная конструкция радиочастотной развязки уменьшает объём системы. Выходная мощность регулируется от 0 до 300 Вт, её стабильность составляет не более ±0,5 %. Частота выходного сигнала — 13,56 МГц, форма сигнала — синусоидальная. Крупный ЖК-дисплей отображает заданную, падающую и отражённую мощность, а также состояние устройства. Входной ток составляет 3 А, выходной импеданс — 50. Выдерживаемый коэффициент стоячей волны превышает 3,0. Предусмотрены принудительное воздушное охлаждение, стандартный коммуникационный порт и аналоговый интерфейс управления. Доступно управление согласователем. Габариты составляют 444 × 410 × 128 по ширине, глубине и высоте, размер панели — 480 × 135 мм, масса — 16 кг.

Наименование производителя

300W/500W 13.56MHz MPCVD RF Plasma Generator (RF Plasma Power Supply) for PECVD System

Задать вопрос Искать на Baidu

Какую задачу решает генератор плазмы

Генератор плазмы служит источником питания для систем с радиочастотным возбуждением плазмы, включая малые ёмкостные системы магнетронного распыления и плазменной очистки.

Выработка электроэнергии

Очистка поверхностей

Характеристики ГМЭ-17(4К)

Модель (по базе 91Т)ГМЭ-17(4К)

Материалмашина для магнетронного распыления

ПриводВЧ-источник питания

Размер444 (ширина) × 410 (глубина) × 128 (высота)

Типвакуумное сушильное оборудование

Генератор плазмы - гибкость поставки.
Каждый проект имеет свои особенности, и мы это учитываем. Именно поэтому по запросу мы уточним у производителя, возможна ли корректировка технических характеристик, типоразмеров и комплектации ГМЭ-17(4К) под условия применения (руками первого изготовителя или собственного производства в России).

Дата актуализации информации: 08.10.26

Производитель и параметры оборудования проверены.