Однополярный импульсный источник смещения с цифровым управлением, 40 кВт

Источник смещения подаёт на обрабатываемую деталь отрицательное или положительное смещение. Управление энергией заряженных частиц в вакуумной плазме позволяет бомбардировать и очищать поверхность детали, формировать новый поверхностный слой после воздействия частиц высокой энергии и повышать адгезию последующих осаждаемых плёночных слоёв к подложке. Изменение полярности или режима выходного напряжения меняет условия осаждения и позволяет регулировать цвет плёночного слоя. Допуск входного напряжения составляет ±10 %. Выходной ток регулируется в диапазоне от 0 до 50 А. Рабочее напряжение находится в диапазоне от −200 до −600 В, напряжение холостого хода превышает −800 В. Частота равна 40 кГц, форма сигнала представляет собой однополярный импульс постоянного тока. Предусмотрены режимы постоянного напряжения, постоянного тока и постоянной мощности. Точность регулирования не превышает 1 %, КПД составляет не менее 90 %, коэффициент мощности — не менее 0,9. ЖК-дисплей на китайском и английском языках отображает рабочее состояние, выходное напряжение, выходной ток и заданное значение. Класс изоляции — B, степень защиты — IP20, время срабатывания защиты — 1 мкс. Сопротивление относительно корпуса составляет не менее 20 МОм. Выдерживаемое напряжение между входом и корпусом — 2000 В в течение 1 минуты, между входом и выходом — 3500 В в течение 1 минуты. Рабочая температура составляет от 0 до 35 °C, влажность — не более 80 %. Охлаждение воздушное. Габаритные размеры — 480 × 263 × 550 мм.

Наименование производителя

40KW Unipolar Pulse Bias Power Supply WT40-MC | Digital Intelligent Control High Power Pulse Generator