Настольная установка плазменного напыления с тремя вращающимися мишенями

Настольная установка оснащена цифровым контроллером с сенсорным экраном и вращающимся столиком образца. Размер столика составляет 50 мм в диаметре, а расстояние до мишени регулируется в диапазоне 25–40 мм. Столик имеет три положения распыления, выбираемые через сенсорную панель. Опциональный нагреватель подложки рассчитан на максимальную температуру 500 °C; встроенный ПИД-регулятор поддерживает точность ±1 °C. Панель управления представляет собой цветной экран диагональю 6 дюймов с интеграцией ПЛК. На нём объединены вакуумметр, измеритель тока распыления и управление температурой подложки; фронтальные регуляторы служат для подачи газа и настройки тока распыления. Через экран доступны выбор положения, таймер процесса и ведение журнала. Вакуумная камера из кварца высокой чистоты закрывается фланцем из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом. Защитная клетка из нержавеющей стали входит в комплект. Предусмотрен встроенный вакуумный порт для подключения насоса; насос с соединителем приобретается отдельно. Допустимы двухступенчатый насос с вакуумом до 1,0×10^-2 торр или турбонасос с вакуумом до 1,0×10^-5 торр. Потребляемая мощность составляет 700 Вт без учёта вакуумного насоса при однофазном питании 220 В переменного тока и частоте 50/60 Гц. Выходное напряжение составляет 1600 В постоянного тока, максимальный ток — 40 мА. Масса установки — 50 кг.

Наименование производителя

Desktop Single Target Plasma Sputtering Coater MG-1100X-SPC-16 | Gold & Thin-Film Deposition for SEM Lab R&D