Установка ультразвукового распылительного пиролиза для нанесения тонких плёнок

Объёмный насос подаёт раствор через инфузионную систему; его работу координируют шаговый двигатель и микропроцессор, обеспечивая точную подачу и непрерывность ультразвукового распыления. Раствор после атомизации распыляется на подложку для получения заданной структуры материала. Атомизатор перемещается по осям X и Y с регулируемой скоростью, что обеспечивает равномерное нанесение на поверхность. Частота ультразвукового атомизатора составляет 40 кГц при мощности 100 Вт. Ход распылителя по каждой оси X и Y регулируется в диапазоне 1–200 мм; скорость перемещения по оси X составляет 10–800 мм/с, по оси Y — 10–100 мм/с. Размер частиц коллоида покрытия равен 10–20 мкм, содержание твёрдого вещества не превышает 10%, а вязкость составляет не более 100 сП. Расстояние между слоями настраивается в пределах 1–100 мм, максимальная регулировка высоты по оси Z составляет 60 мм. Размер нагревательной плиты — 350×220 мм, температура нагрева достигает 500 °C. Электропитание осуществляется от сети 220 В с частотой 50/60 Гц; требуется надёжное заземление. Вода не нужна. Пневматически поддерживаемое сопло требует воздушного компрессора или газового баллона с редукционным клапаном. Оборудование размещают на напольном рабочем месте площадью более 2 м², также необходима вентиляция. Допустимые условия установки: высота не более 1000 м, температура 25 °C ± 15 °C и относительная влажность 55% ± 10%. Стандартный объём жидкостного шприца составляет 20 мл, диаметр устанавливаемого в насос устройства подачи жидкости не должен превышать 30 мм. Скорость впрыска равна 0,1 мм/мин, скорость тонкой настройки — 0,01 мм/мин, диапазон задания хода шприца — 0,001–120 мм. Габариты основного блока — 1550×750×750 мм, шприцевого насоса — 250×225×170 мм. Расход составляет 0,6 пл–4 мл/мин.

Наименование производителя

High-Throughput Ultrasonic Spray Pyrolysis Coater for Thin Film Deposition MSK-USP-04C