Источник питания для магнетронного напыления

Источник питания предназначен для магнетронного напыления покрытий. Выходная мощность составляет 20 кВт, а постоянный ток регулируется в диапазоне 0–26 А. Рабочее напряжение изменяется от −200 до −800 В, напряжение холостого хода превышает −1 кВ. Сигнал имеет однополярную форму постоянного тока. Доступны режимы стабилизации постоянного напряжения, постоянного тока и постоянной мощности. Допуск входного напряжения составляет ±10%. Точность регулировки не превышает 1%, коэффициент полезного действия составляет не менее 90%, коэффициент мощности — не менее 0,9. Предусмотрено полностью ЧПУ-интеллектуальное управление и отображение информации на жидкокристаллическом дисплее с интерфейсом на китайском и английском языках. Защитные функции включают заземление, защиту от утечки, внешнего управления, молнии и перегрева. Класс изоляции — B, степень защиты — IP20, время срабатывания защиты — 1 мкс. Сопротивление относительно корпуса составляет не менее 20 МОм. Испытательное напряжение между входом и корпусом — 2000 В в течение 1 мин, между входом и выходом — 3500 В в течение 1 мин. Используется воздушное охлаждение при температуре окружающей среды от 0 до 35 °C и влажности не более 85%. Габариты по ширине, высоте и глубине составляют 480 × 263 × 550 мм.

Наименование производителя

Hot Selling WT2-MC-1KW Unipolar Pulse Bias Power Supply Lab Drying Equipment for Magnetron Sputtering