Лабораторная высокоточная установка для нанесения покрытий на образцы СЭМ

Лабораторная установка оснащена приставкой, которая выполняет плазменное напыление металлических плёнок и термическое испарение углерода и других металлов; возможна работа с углеродными нитями, алюминием и нержавеющей сталью. Диаметры мишени и столика для образцов составляют по 50 мм, вакуумная камера имеет размер Ø160 × 110 мм. Рабочий вакуум составляет от 4 × 10^-1 до 2 × 10^-2 мбар. Предельный ток равен 50 мА, задаваемое предельное время — 9999 с, предельное напряжение — регулируемое постоянное 1600 В. Вакуумный насос представляет собой двухступенчатый механический роторный насос с производительностью 2,2 л/с и предельным вакуумом 5 × 10^-2 Па; также может быть выбран отечественный молекулярный насос. В стандартный комплект входят золотая мишень, углеродный шнур, комплект термического испарения, впускной игольчатый клапан и два предохранителя. В качестве дополнительных принадлежностей предусмотрены мишени из индия, серебра и платины. Оборудование используют на высоте менее 1000 м при относительной влажности 55 % ± 10 %. Для работы требуется электросеть 50 Гц с надёжным заземлением и аргон чистотой выше 99,99 %; газовый баллон должен быть оснащён редукционным клапаном. Вода и вентиляционное устройство не требуются. Рабочий стол должен иметь размеры 600 × 600 × 700 мм и выдерживать нагрузку более 50 кг. Масса установки составляет 50 кг.

Наименование производителя

Lab High Precision SEM Sample Coater with Plasma Sputtering and Carbon Evaporation for Gold, Platinum, and Metal Films