Лабораторная установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления

Оборудование оснащено тремя распылительными пушками. Один ВЧ-источник питания мощностью 300 или 500 Вт предназначен для распыления непроводящих материалов, а два источника постоянного тока мощностью 500 Вт — для проводящих материалов. Распылительные пушки можно заменять в соответствии с требованиями к конфигурации; один источник способен управлять несколькими пушками, а несколько источников — одной пушкой. Установка выполнена по модульной схеме с раздельным размещением вакуумной камеры, группы вакуумного насоса и блока управления питанием. Компоновку можно изменять в соответствии с рабочими потребностями. Пушки имеют водяное охлаждение, а самоциркулирующий охладитель заправляется чистой или деионизированной водой. В рабочей камере используют аргон, азот и другие инертные газы; для заполнения аргоном требуется чистота не менее 99,99%. Массовый расходомер регулирует два входных канала с расходом 100 и 200 см³/мин. Для подачи аргона необходимы баллон с двойным обжимным соединением Ø6 мм и редукционный клапан. Электропитание составляет 220 В при частоте 50 Гц, потребляемая мощность — менее 2,5 кВт. Предельный вакуум — E-6 мбар. Столик образца диаметром 140 мм работает с регулируемой скоростью 1–20 об/мин; дополнительно может устанавливаться функция смещающего напряжения. Габариты основной машины составляют 500 × 560 × 660 мм, общие габариты — 1300 × 660 × 1200 мм, масса — 160 кг. Для эксплуатации требуются высота не более 1000 м, температура 25 ± 15 °C, относительная влажность 55 ± 10 %, хорошее заземление и вентиляционное устройство. Для размещения требуется рабочий стол размером 1500 × 600 × 700 мм с нагрузкой более 200 кг. В стандартную комплектацию входят два блока управления постоянным током, один блок управления ВЧ-питанием, система контроля толщины плёнки, молекулярный насос, охладитель воды и 4 м полиэфирной полиуретановой трубы Ø6 мм. Дополнительно доступны мишени из золота, индия, серебра и платины, маска и вибрационный столик образца.

Наименование производителя

Lab Three-Head DC Magnetron Sputtering Coater for Conductive Material Coating VTC-600-3HD