Вакуумная плазменная установка для очистки поверхностей

Вакуумная установка плазменной очистки оснащена рабочей камерой из кварца высокой чистоты диаметром 100 мм и длиной 270 мм. Радиочастотный генератор работает на частоте 13,56 МГц с допуском ±0,005%; применяются разъём N-типа, ограничение отражённой мощности до 100 Вт, стабильность мощности ±0,1% и эффективность установки не менее 75%. Охлаждение выполняется принудительным воздухом. Подача газа контролируется поплавковым расходомером через два канала: диапазон канала A составляет 10–100 мл, канала B — 16–160 мл. Вакуумная система включает цифровой вакуумметр и роторно-пластинчатый насос; диапазон вакуума составляет 0,1–10000 Па, предельный вакуум — 0,5 Па, рабочий вакуум — не более 40 Па. Уровень шума двигателя не превышает 56 дБ. Время очистки регулируется от 1 до 6000 с, мощность — от 10 до 100%. Доступны ручное и автоматическое управление, а параметры отображаются на ЖК-дисплее. Оборудование предназначено для удаления органических загрязнений нанометрового масштаба с подложек или пластин размером до 101,6 мм с использованием плазмы воздуха, кислорода или аргона.

Наименование производителя

Lab13.56MHz 2L Optical and Electron Microscope Lens Vacuum Argon Atmosphere Plasma Cleaning Equipment Plasma Cleaner, Adjustable 200-500W 13.56MHz 10L Plasma Cleaner for Nano Organic Contaminant Cleaning OEM MGSI