Центрифуга с сервоприводом для нанесения и выравнивания клея

Центрифуга обеспечивает высокую точность и повторяемость работы. Управление осуществляется через ПЛК и полноцветный сенсорный экран диагональю 177,8 мм. Рабочая камера из полиэтилена высокой плотности оснащена вытяжкой воздуха; корпус выполнен из полипропилена, а крышка — из прозрачного поликарбоната. Предусмотрены цифровая индикация давления вакуумной адсорбции и регулировка давления. Оборудование можно модернизировать до вакуумного исполнения и исполнения с нагревом камеры. Центрифугу допускается встраивать в перчаточный бокс для уменьшения рабочей высоты. Дополнительно возможна установка функций обратной очистки и нанесения клея на кромку. Обрабатываемые размеры включают фрагменты менее 1 см и круглые подложки размером до 203,2 мм. Скорость вращения регулируется от 20 до 10 000 об/мин, разрешение составляет ±1 об/мин, ускорение регулируется в диапазоне 20–50 000 об/мин/с. Длительность одного шага — 3000 с, временное разрешение — 0,1 с, равномерность покрытия — ≤ ±3%. Предусмотрены 100 групп программ по 100 шагов с возможностью расширения. Имеются четыре автоматических порта дозирования с возможностью расширения системы автоматического дозирования. В стандартную комплектацию входят материнский диск 100 мм и поддиски трех размеров: 10, 25 и 55 мм.

Наименование производителя

Programmable Servo Glue Leveling Spin Coater - 8 Inch Wafer Capacity AC200-S-PP