Лабораторная система атомно-слоевого осаждения
Модель: БФЯ-97(9Ш)
Объем сосуда для осаждения порошка выбирается опционально; максимальный объем одной загрузки превышает 160 мл. Температура нагрева зоны осаждения регулируется от комнатной температуры до 300 °C с точностью ±1 °C, а температура прогрева камеры — от комнатной температуры до 150 °C с точностью ±1 °C. С
