Гибридная установка для нанесения покрытий

Компактная установка наносит покрытие на порошковые частицы. В рабочей зоне используются вибрационная платформа и магнетронная распылительная головка с водяным охлаждением: во время процесса частицы перемещаются по платформе и формируют структуру «ядро–оболочка». Магнетронное распыление постоянным током подходит для металлических материалов, а радиочастотный источник питания может применяться как опция для непроводящих материалов и углерода. Электропитание составляет 208–240 В переменного тока, 50/60 Гц, одна фаза; мощность — 3000 Вт. В систему встроена однозонная вертикальная трубчатая печь с температурой 1100 градусов Цельсия. Расстояние между распылительной головкой и платформой регулируется в пределах 60–100 мм. Для охлаждения головки предусмотрен рециркуляционный охладитель с расходом воды 16 л/мин. Поворотный держатель образца диаметром 76,2 мм установлен на нижнем фланце печи, скорость вращения регулируется от 1 до 10 об/мин. Сенсорная панель управления с экраном 152,4 мм интегрирована с ПЛК и позволяет контролировать вакуум и ток. Встроенный вакуумный порт и игольчатый клапан обеспечивают подачу аргона; для работы требуется баллон с регулятором давления. Предельное давление ниже 1,0E-2 Торр достигается пластинчато-роторным насосом для мишеней из золота, серебра, платины, меди и молибдена, а ниже 1,0E-5 Торр — турбомолекулярным насосом для мишеней из алюминия, магния, лития, лоуренция, титана и цинка. После откачки в течение ночи и прогрева вакуум может достигать менее 4,0E-6 Торр. Для испытаний в комплект входит медная мишень диаметром 25,4 мм и толщиной 2,5 мм. Масса установки — 50 кг.

Наименование производителя

PVD / CVD Hybrid Coater for Multi-layer Film Coating - VTC-150-H