Малогабаритная высоковакуумная установка для нанесения покрытий

Покрытие формируется термическим испарением: углеродная нить нагревается, испаряется и газифицируется, после чего материал осаждается на поверхности подложки или изделия с образованием тонкой плёнки. Диаметр зоны испарения достигает 45 мм. Рабочая площадка имеет диаметр 50 мм, а максимальный диаметр обрабатываемого образца составляет 50 мм. Для процесса можно выбрать двухжильную углеродную нить варианта A или B. Камера для образцов выполнена из боросиликатного стекла; её размеры составляют 170 × 130 мм по глубине и высоте. Вакуум создаётся механическим насосом с прямым соединением и двойным вращением, оснащённым масляным фильтром и устройством предотвращения возврата масла. Рабочий вакуум равен 4 × 10⁻² мбар, а степень вакуума при использовании этого насоса достигает 10⁻² торр. Рабочее напряжение составляет 0–30 В переменного тока, ток испарения — 0–100 А, продолжительность процесса — 0–1 с. Габариты установки — 340 × 390 × 300 мм (ширина × глубина × высота), масса — 50 кг. Конструкция оснащена сильфоном и зажимом.

Наименование производителя

Small High Vacuum Thermal Evaporation Coater - GSL-1100X-SPC-15E-LD