Трёхголовочная установка магнетронного распыления

Установка оснащена мишенными пушками и предназначена для нанесения покрытий методом совместного или последовательного распыления. Вакуумная камера выполнена из нержавеющей стали, её размеры составляют 300 мм в диаметре и 300 мм по высоте. Мишени имеют диаметр 50,8 мм и толщину от 0,1 до 5 мм. Мишенные головки охлаждаются водой и оснащены заслонками. Поворотный нагреваемый держатель образца диаметром 140 мм обеспечивает вращение со скоростью от 1 до 20 об/мин; температура держателя регулируется от комнатной температуры до 500 °C с точностью ±1 °C. Два контроллера массового расхода регулируют подачу двух газов в диапазонах 0–200 и 0–100 мл/мин. Модульная конструкция допускает раздельное размещение камеры, вакуумной насосной группы и блока управления. В состав стандартной комплектации входят водоохладитель, молекулярный насос и система контроля толщины плёнки. Габариты основной машины — 500 × 560 × 660 мм, общие габариты — 1300 × 660 × 1200 мм, масса — 160 кг.

Наименование производителя

Triple-Source Plasma Magnetron Sputtering Coater for Single-layer or Multi-layer Ferroelectric Film VTC-600-3HD, Laboratory Magnetron Sputtering Coater with 3 Sputtering Sources RF/DC Power Supply for Lab Thin Film Deposition, Single Head High-Vacuum Magnetron Plasma Sputtering Coater for Precise Film Deposition VTC-600-1HD, Three-Target Plasma Magnetron Sputter Coater Lab Sputtering Machine DC Sputtering for Conductive Materials RF Sputtering, Lab Three-Target DC and RF Magnetron Sputtering System for ITO Glass Thin Film Deposition - MG-VTC-600-3HD, DC/RF Dual-Head High Vacuum 2-inch Magnetron Plasma Sputtering Coater - MG-VTC-600-2HD for Advanced Coating Applications, Laboratory 2-in-1 Thin Film Coater Magnetrons Sputtering Thermal Evaporation VTC-1RF-SPC Drying Equipment, Laboratory 3 Heads RF/DC Plasma Sputtering Coater for Powders with 1 PPM Gas Purification System - VTC-3HD-VP, Plasma Magnetron Sputtering Coater with Three Sputtering Sources and RF/DC Power Supplies - VTC-600-3HD-LD, Laboratory Plasma Magnetron Sputtering Coater with Three DC Sputtering Targets and Power Supplies VTC-600-3HD-LD