Центрифуга для нанесения покрытий на пластины диаметром до 152,4 мм, 500–10 000 об/мин

Центрифуга для нанесения покрытий оснащена корпусом и диском из полипропилена (PP), устойчивого к большинству коррозионных растворов. Цифровой блок управления отделён от корпуса установки, поэтому управление возможно с удалённого места. В комплект входят двухступенчатый вакуумный насос для камеры центрифугирования, сухой насос для вакуумного зажима, цифровой вакуумметр на верхней крышке, фильтр между насосом и установкой, держатель образца и шприц объёмом 20 мл для материала покрытия. Фильтр предотвращает попадание сточных жидкостей в насос. Камера имеет диаметр 150 мм; зажим из полипропилена устойчив к коррозии. Механическое приспособление удержания используется для подачи жидкости под вакуумом, а вакуумный зажим — для подачи жидкости в атмосфере инертного газа. Панель управления цифровая, время и скорость задаются для каждого программируемого сегмента, максимальное время шага составляет 999 секунд. Питание установки рассчитано на 220 В переменного тока, 50/60 Гц, однофазный режим и максимальную мощность 1000 Вт; доступна версия 110 В с трансформатором 1500 Вт. Двигатель бесщёточный, 24 В постоянного тока, максимальная мощность 200 Вт. Максимальный уровень вакуума составляет 110 торр.

Наименование производителя

Vacuum & Atmosphere Controlled Spin Coater for 6" Wafers, 10,000 RPM - VTC200PV