Программируемая вакуумная установка для центрифужного нанесения тонких покрытий, 500–10000 об/мин, для пластин размером 127 мм

Образец закрепляется на рабочей пластине методом вакуумной адсорбции. Вакуумные держатели разных размеров выбираются по габаритам образца и заменяются без сложной переналадки. Центральный позиционер помогает уменьшить вибрацию и выброс образца при смещении от оси. Разрежение достигает -0,08 МПа. Скорость регулируется двухэтапной программой; память сохраняет 12 групп программ, каждая из которых включает 6 этапов длительностью 0–60 с. Диапазон настройки ускорения и замедления составляет 100 об/мин/с–2000 об/мин/с. Бесщеточный двигатель постоянного тока с напряжением 24 В и мощностью 350 Вт обеспечивает низкий уровень шума, малую вибрацию, быстрый стабильный запуск и устойчивую работу после ускорения, поддерживая равномерность толщины покрытия. Безмасляный вакуумный насос параллельной конструкции имеет компактное исполнение и упрощает обслуживание. Камера выполнена из полипропилена, корпус — из литого алюминия. Установка оснащена защитой при открывании крышки: во время рабочего цикла или после его завершения она быстро снижает скорость до полной остановки. Управление выполняется через сенсорный экран и одноплатный компьютер, а числовые значения отображаются на экране. Операционная система англоязычная. Нагрев доступен как опция и управляется независимым регулятором температуры; в одном нагреваемом исполнении камера и держатель изготовлены из PTFE, в другом держатель изготовлен из PTFE, а верхняя крышка и ванна — из полипропилена. Электропитание составляет 220 В, 50 Гц, требуется надежное заземление. Предусмотрены вход и выход для воды; необходима вентиляция. Рабочий стол должен иметь размеры 600 × 600 × 700 мм и выдерживать нагрузку более 50 кг. Допустимы эксплуатация на высоте не более 1000 м, температура 25 °C ± 15 °C и относительная влажность 55 % RH ± 10 % RH. Размеры установки составляют 450 × 280 × 340 мм, масса — 20 кг. В стандартную комплектацию входят центральный позиционер с четырьмя установочными штифтами, шприц для эпоксидного состава объёмом 20 мл, держатель шприца и резиновая трубка с зажимом; дополнительно доступны вакуумные держатели других размеров и пипетки.

Наименование производителя

VTC-100PA-DC Glovebox Vacuum Spin Coater 10K RPM 5-Inch Wafer Programmable Thin Film Coating Machine